耐用型光刻胶烘烤加热器

在晶圆平台上，烘烤并非暂停——而是工艺锁定。如果光刻胶温度均匀性出现漂移，就会导致关键尺寸（CD）变化和良率问题。而当烘烤加热器开始性能下降时，数据会第一时间反映出来，远早于晶圆表现异常。 核心要点 该光刻胶烘烤加热器专为光刻烘烤重复性设计，保持晶圆级温度均匀性在±0.1°C以内，从而确保热预算受...