洁净室工作台红外灯

避免晶圆加工过程中红外灯爆炸的灾难 说实话，当高负荷生产环境中的红外灯发生破裂时，那可真是场大灾难。不仅仅是机器需要停机数小时的问题，还有后续的清理工作。当石英管在处理硅晶圆时破裂，玻璃碎片和卤素气体就会溅到晶圆上，导致整批晶圆报废，同时团队还不得不花费大量时间来清理整个洁净室。这真是令人头疼的问...