工厂干燥系统的能源审计
为什么半导体工厂正在放弃传统烤箱,转而使用红外固化技术?
如果最近去过半导体工厂,你可能会注意到一个现象:那些体积庞大、结构复杂的对流式烤箱正在逐渐被淘汰。人们开始转向使用红外固化技术。为什么呢?因为为了烘干一小块硅片而加热整个房间,实在是一种浪费。而红外固化技术则可以直接作用于被处理的材料上。正...
节能型半导体加热器
防止玻璃管破裂:保护石英管完好无损 在高负载的半导体生产环境中,红外灯突然爆炸无疑是一场灾难。这不仅会导致设备停止运转,还会造成一片混乱。想象一下,玻璃碎片和卤素气体直接溅到晶圆上,那么整个批次的产品就都报废了。接下来还要花费数小时来清理整个腔室。我们花了大量时间来研究如何避免这种情况发生。
应对...
高能效晶圆加热器
简介
我们设计的晶圆加热器,是为应对半导体制造过程中最恶劣的环境而打造的。该设备的核心部件就是高功率卤素灯——它不仅响应迅速、精度高,而且功率极大。不过,我们最引以为傲的是:电气安全性并非事后才考虑的问题,而是从设计之初就重点考虑的。在产品出厂之前,每盏灯都会经过严格的测试——100%的压力测试和...