دیگر نیازی به استفاده از دستگاههای حرارتی برای گرم کردن ویفرها نیست؛ روش بهتری برای این کار وجود دارد.
هر کسی که در کارخانههای تولید نیمههادی کار کرده باشد، میداند که چقدر این کار دشوار است: باید ویفرها را گرم کنیم، اما نمیخواهیم کل دستگاه به یک فر تبدیل شود.
بیشتر دستگاههای حرارتی، انرژی را در همه جا پخش میکنند؛ این کار باعث میشود دیوارههای داخلی دستگاه گرم شوند و در نتیجه، قطعات گرانقیمت دستگاه به یک منبع گرمایی تبدیل شوند. این امر نه تنها باعث میشود لمس پنلهای دستگاه خطرناک باشد، بلکه فشار زیادی نیز بر ساختار دستگاه وارد میشود.
ما راهی برای حل این مشکل پیدا کردیم؛ از لامپهای مادون قرمز ساخته شده از الیاف کربن استفاده کردیم؛ این لامپها انرژی را دقیقاً در جهت مورد نظر هدایت میکنند.
نحوه کارکرد این لامپها:
میتوانید آنها را مانند لامپهای معمولی در نظر بگیرید؛ اما لامپهای معمولی انرژی را در همه جا پخش میکنند، در حالی که لامپهای ساخته شده از الیاف کربن، انرژی را دقیقاً در جهت مورد نظر هدایت میکنند.
چرا الیاف کربن؟
دلیل اصلی، سرعت و کارایی است؛ الیاف کربن، جریان بالای الکتریسیته را بهتر از سیمهای فلزی مدیریت میکنند. این لامپها تقریباً بلافاصله به دمای مورد نظر میرسند؛ این سرعت واقعاً بسیار بالاست. علاوه بر این، نور تولید شده توسط این لامپها، با نحوه جذب گرما توسط مواد نیمههادی سازگار است؛ در نتیجه، کل فرآیند کارایی بیشتری خواهد داشت.
معایب این روش:
البته، این روش هم معایبی دارد؛ گرم کردن دقیق نیازمند دقت زیادی است. اگر جهت انرژی تغییر کند، گرمایش ویفر نامتوازن خواهد بود. بنابراین، باید مطمئن شوید که قطعات مربوطه کاملاً ثابت باشند؛ هیچ لرزشی نباید وجود داشته باشد.
همچنین، از آنجایی که تمام انرژی در یک نقطه متمرکز میشود، آن نقطه تحت فشار زیادی قرار میگیرد؛ بنابراین باید مراقب محدودیتهای حرارتی زیرلایهها باشید تا از ایجاد نقاط گرم بیش از حد جلوگیری کنید.