クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
クラス100のクリーンルームで作業を行う際、最も避けたいのは、ヒーターの部品が剥がれ落ちたり、ガスを放出して製品に付着してしまうことです。これは実際によく起こる問題です。一般的なヒーターはこのような状況に耐えられないのです。酸化したり、微粒子を放出したりして、製品の品質を損なってしまいます。
だからこそ、私たちは防水型の赤外線ランプに高純度の合成石英を使用しているのです。そうすれば、ヒーターの部品が剥がれ落ちる心配がありません。
なぜ石英なのか？
石英は、加熱や冷却のサイクルを繰り返しても、破損したり、微細な粉塵を放出したりすることがありません。また、これらのランプは洗浄工程で使われることが多いため、湿気も大きな問題です。そのため、ランプの端をしっかりと密封しています。なぜかというと、もし水滴が熱いフィラメントに当たったら、ランプは即座に破損してしまいます。誰も、漏れによってラインを停止させる立場になりたくないでしょう。
技術的な側面
私たちは、適切なワット数と長さの比率を設定することで、熱が必要な場所に正確に届くようにしています。赤外線の波長を調整することで、基材に直接熱を与えることができます。そうすれば、部屋中の空気が無駄に温められることもありません。これは、温度制御にとっては大変有利です。
ちなみに、電源の安定性にも注意しましょう。電圧の急激な変動は、石英の寿命を著しく短縮させます。
お使いの設備での利用方法
これらのランプは、洗浄工程で使われるヒーターとして簡単に交換できるように設計されています。防水性があるため、電気的なトラブルを心配せずにその部分を洗浄できます。
ただし、高純度の石英は、通常使われているガラスよりも少しもろいので、機械が激しく振動したり、衝撃を受けたりする場合は、緩衝装置を使用しましょう。適切に支持されていないと、熱で膨張した際にランプが割れてしまう可能性があります。
最良の結果を得るためには、PIDコントローラーを使って接続しましょう。そうすれば、温度が過度に上昇するのを防ぐことができ、石英に不要な負担がかからず、長期間にわたってランプを使用できます。