ウェーハ処理におけるチューブの破損という悪夢を防ぐために
正直に言って、高負荷環境下で赤外線ランプが破損すると、それは本当に大惨事です。数時間機械が使えなくなるだけではありません。後片付けも大変です。
シリコンウェーハの上で石英管が破裂すると、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハの上に飛び散ります。その結果、一度に作業していたウェーハは無駄になり、チームはクリーンルーム全体を掃除しなければなりません。これは誰も望まない厄介な状況です。
まさにそのために、私たちは独自の方法でクリーンルーム用の赤外線ランプを設計したのです。
チューブが破損する理由
通常、熱衝撃や局所的な過熱が原因です。私たちは、温度変動にも耐えられる高純度の融合成石英を使用しています。そうすれば、急激な電力の変動にも耐えられ、チューブが破損することはありません。
また、安価な製品ではフィラメントが垂れ下がったり、壁に触れたりして破損します。私たちはフィラメントを数ミリメートル単位で正確に位置づけることで、この問題を解決しています。これにより、熱が適切な場所に留まります。
混乱を防ぐために
さらに安全策として、ランプを強化された石英のケースで覆ったり、特殊な耐破壊コーティングを施したりしています。これはまるで安全網のようなものです。内側のランプが故障しても、外側の層がすべてを受け止めてくれます。そうすれば、ウェーハの上にガラスの破片が落ちることはありません。
また、コネクタも強化しました。安価な端子ではアークが発生し、その結果、微小な金属粒子が空気中に散布されます。私たちはこれらの接点をしっかり固定することで、クリーンな環境を維持しています。
代償
ただし、このような安全対策を施すと、赤外線の透過率が少し低下します。完全に何もない状態のチューブと比べると、熱量が少し減少します。
大した問題ではありませんが、目標の温度に到達するためには、出力を上げたり、ウェーハをもう少し長く加熱したりする必要があるかもしれません。生産中に遮断器が切れないように、電源が余分な負荷に耐えられるかを確認してください。