以下に、次の分類用語を使用するページがあります “ベンチ” クリーンルーム用ベンチ用赤外線ランプ ウェーハ処理におけるチューブの破損という悪夢を防ぐために 正直に言って、高負荷環境下で赤外線ランプが破損すると、それは本当に大惨事です。数時間機械が使えなくなるだけではありません。後片付けも大変です。 シリコンウェーハの上で石英管が破裂すると、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハの上に飛び散ります... Read more...
クリーンルーム用ベンチ用赤外線ランプ ウェーハ処理におけるチューブの破損という悪夢を防ぐために 正直に言って、高負荷環境下で赤外線ランプが破損すると、それは本当に大惨事です。数時間機械が使えなくなるだけではありません。後片付けも大変です。 シリコンウェーハの上で石英管が破裂すると、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハの上に飛び散ります... Read more...