ウェーハを清潔に保つために：なぜランプの設計が重要なのか 大量生産ラインでは、たった1つのランプが故障するだけで、一日中の作業が台無しになってしまいます。問題は単に停止時間だけではありません。石英管が壊れると、ただ暗くなるだけでなく、ガラスの破片や金属片がウェーハの上に散らばってしまいます。これは...

はじめに ここでは、鋳造所といった過酷な環境で使用される、特殊な赤外線ヒーティングランプについて説明しましょう。このランプは、ウェーハ乾燥装置内の加熱システムを簡単に交換できるように設計されています。その目的は、強力かつ安定した熱を供給し、水分を素早く除去することです。そして、エネルギーコストや頻...