MEMSセンサーワッファー乾燥ヒーター

MEMSウェーハの乾燥を正しく行うために（汚染の心配なしで） MEMSセンサーを乾燥させる際、熱はあくまで半分の要素に過ぎません。本当の課題は、微粒子との戦いです。 もしクラス100のクリーンルームで作業しているなら、ご存知の通り、わずかなガスの放出やヒーターから出る微小な粒子でも、ウェーハ全体が...