機械を「焼く」のはやめよう：ウェーハを加熱するためのより良い方法 半導体製造工場で働いたことがある人なら、この問題をよく知っているでしょう。ウェーハを適切な温度にする必要がありますが、機械全体をオーブンのようにしてしまうわけにはいきません。 ほとんどのヒーターは、エネルギーをあちこちに放出します。...

IR加熱と熱風加熱：CNTをより効率的に成長させる方法 もし、カーボンナノチューブの製造に時間を費やしたことがあるなら、その手間の大変さはご存知でしょう。一定の品質のCNTを得るためには、理想的な温度バランスを維持する必要があります。従来の装置では、熱風循環に頼っていることが多いです。 正直、これ...