MEMSウェーハの乾燥を正しく行うために（汚染の心配なしで） MEMSセンサーを乾燥させる際、熱はあくまで半分の要素に過ぎません。本当の課題は、微粒子との戦いです。 もしクラス100のクリーンルームで作業しているなら、ご存知の通り、わずかなガスの放出やヒーターから出る微小な粒子でも、ウェーハ全体が...

ウェハーを加熱する際に熱が無駄に消費されるのを防ぎましょう。 シリコンウェハーを加熱するには精度が重要です。しかし、一般的なIR装置を使ったことがある人なら、その問題をよく知っているでしょう。つまり、熱がウェハーに当たらず、真空チャンバーの内壁に直接当たってしまうのです。そうなると、機械の外側がと...

なぜ、IRセンサーの絶縁試験を厳しく行うのか？ こちらでは「ランダムサンプリング」は行いません。私たちの工場を出るすべての赤外線ランプやスマートセンサーは、100％の耐電圧試験および絶縁抵抗試験を受けます。 なぜでしょうか？高出力のIR装置においては、わずかな絶縁不良でも大問題になります。単にラン...

序論 ウェーハを処理する際、温度というのは単なる画面上の数値に過ぎません。それは、完璧な製造ができるか、それとも全量が廃棄されるかの分かれ目なのです。だからこそ、私たちはこの温度センサーを開発しました。その目的は、エネルギーの1ワットたりとも、必要な場所で、必要なタイミングに正確に届けることです。...

この製品は、水素センサーの製造において、わずかな偏差も許されない。許容範囲を外れると、フォトレジストの形状が崩れてしまい、歩留まりが低下し、ウエハーが廃棄されてしまいます。私たちは、何度繰り返しても一定の温度を維持できるように、このヒーターを開発しました。 重要なポイント 石英エミッターを使用する...