ファブフロアにおいて、ソフトベイクはただのウォームアップではない。リソグラフィのバジェットを設定する、これが全てだ。温度の不均一性はCDのばらつきとして現れ、溶剤の残留はフッティング、スカム、またはラインエッジラフネスとなって現れる。ベイクの条件がぶれると、全体のプロセスが危険にさらされる。 技術...

ウェハフロアでのベイクは単なる一時停止ではなく、プロセスロックである。フォトレジストの温度均一性がずれると、CD変動や歩留まりの問題を招く。ベイクヒーターの性能が低下し始めた場合、ウェハに現れる前にデータでそれが確認できる。 重要なポイント このフォトレジストベイクヒーターは、リソグラフィーベイク...