ウェーハ用高精度IRセンサー

ウェハーを加熱する際に熱が無駄に消費されるのを防ぎましょう。 シリコンウェハーを加熱するには精度が重要です。しかし、一般的なIR装置を使ったことがある人なら、その問題をよく知っているでしょう。つまり、熱がウェハーに当たらず、真空チャンバーの内壁に直接当たってしまうのです。そうなると、機械の外側がと...