ウェハー硬化処理ラインでの問題を防ぐ方法 高負荷のウェハー硬化処理においては、ランプが故障すると、単に数分間の生産時間が失われるだけでは済みません。もし石英管が破裂してしまうと、ガラスの破片やハロゲン物質がウェハー上に降り注ぎます。これは本当に悪夢のような状況です。一度破裂すれば、そのロット全体が...

ファブフロアにおいて、アンダーフィルの空洞やスループットの遅延は理論上の話ではなく、失われたダイと達成できなかった目標として現れる。従来のキュアプロファイルは、熱遅延、温度勾配、再現性を損なう汚染リスクなど、あらゆる段階で障害となる。熱予算内に収まりながらも、ライン速度に追従できるキュアが必要であ...