CVD 化学気相成長 ヒーター

ファブ内では、CVDチャンバーの温度プロファイルは単なるパラメータではありません。それ自体がプロセスそのものなのです。ウェーハ表面で1℃の温度変動があれば、膜の応力が変わり、堆積速度が変化し、重要な寸法精度が乱れてしまいます。ヒーターの温度が安定しなくなると、生産が停止してしまいます。私たちは、現...