2026年 ベストセラーウェハーヒーター

製造現場での基本事項 製造現場では周知の通り、ソフトベイクやハードベイク工程中のわずか0.5℃の温度変動が、重要寸法のずれや歩留まり低下を招きます。2026年型ウェーハヒーターは、実際に運用しているプロセスウィンドウに合わせて設計されており、厳密な熱制御、クリーンな動作、そしてシフトごとの再現性を...