なぜ半導体製造工場では対流式オーブンの代わりに赤外線を使うのか？ 最近、半導体製造工場を訪れたことがある人なら、おそらく気づいているでしょう。あの大きくて重たい対流式オーブンが徐々に姿を消しつつあるのです。 代わりに、赤外線を利用した硬化処理が採用されています。なぜでしょうか？それは、わずかなシリ...

ガラスの破片が散乱するのを防ぐ：クォーツチューブを無事に保つ方法 高負荷の半導体製造装置において、赤外線ランプが爆発してしまうのは大変な問題です。装置が停止するだけでなく、部品もめちゃくちゃになってしまいます。ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハの上に降り注ぐ姿を想像してみてください。一度爆発すれ...

はじめに 私たちは、半導体工場で最も過酷な環境に耐えられるウェーハヒーターを開発しました。この装置の核心となるのは、高出力のハロゲンランプです。高速かつ正確で、非常に強力な性能を持っています。しかし、私たちが最も誇りに思うのは、電気的な安全性が後回しにされていないことです。それは最初から考慮されて...