웨이퍼 가공 과정에서 발생하는 튜브 파손의 악몽을 막아보자.
솔직히 말해서, 고부하 환경에서 적외선 램프가 파손된다는 것은 큰 재앙입니다. 단순히 기계가 몇 시간 동안 작동하지 않는 문제만이 아닙니다. 청소도 엄청난 일입니다.
실리콘 웨이퍼 위에서 석영 튜브가 파손되면, 유리 조각들과 할로겐 가스가 웨이퍼 위에 떨어지게 됩니다. 그러면 웨이퍼는 사용할 수 없게 되고, 직원들은 클린룸 전체를 청소해야 합니다. 이건 누구도 원하지 않는 상황입니다.
바로 이런 이유로 우리는 클린룸용 적외선 램프를 특별한 방식으로 설계했습니다.
왜 튜브가 파손되는가?
보통은 열충격이나 국부적인 과열 때문에 튜브가 파손됩니다. 우리는 온도 변화에도 견딜 수 있는 고순도 융합 석영을 사용합니다. 이렇게 하면 급격한 전력 변동에도 튜브가 파손되는 것을 방지할 수 있습니다.
또한 저가형 램프의 경우 필라멘트가 처지거나 벽에 닿으면서 파손될 수 있습니다. 우리는 필라멘트를 밀리미터 단위로 정확하게 위치시켜서 이 문제를 해결합니다. 이렇게 하면 열이 원래 있어야 할 곳에만 집중됩니다.
오염을 막기 위한 조치
추가적인 안전장치로, 우리는 램프를 고강도 석영 소재로 감싸거나 특수한 내파손 코팅을 사용합니다. 이는 마치 안전망과 같은 역할을 합니다. 내부 램프가 고장나더라도 외부 층이 모든 것을 막아줍니다. 그래서 웨이퍼 위에 유리 조각들이 떨어지는 일이 없습니다.
또한 접점도 보강되어 있습니다. 저가형 단자는 아크 현상을 일으킬 수 있으며, 그로 인해 작은 금속 입자들이 공기 중으로 날아갈 수 있습니다. 우리는 이러한 접점들을 안전하게 고정시켜서 환경이 깨끗하게 유지되도록 합니다.
단점
물론 이러한 안전장치를 추가하면 적외선의 전달률이 약간 줄어듭니다. 그 결과, 순수한 튜브와 비교했을 때 약간의 온도 저하가 발생합니다.
그렇지만 큰 문제는 아닙니다. 단지, 목표 온도에 도달하기 위해 전력을 높이거나 웨이퍼를 조금 더 오래 두어야 할 수도 있습니다. 생산 중에 서지가 발생하지 않도록 전력 공급 장치가 충분한 출력을 제공할 수 있는지 반드시 확인해야 합니다.