와이퍼 오븐에서 열이 낭비되는 것을 막으세요.
클린룸용 오븐을 설계할 때 가장 중요한 목표는, 발열체에서 나오는 열을 웨이퍼에 전달하는 것입니다. 간단하죠? 하지만 문제는, 그 비싼 전력의 대부분이 실제로 작업에 사용되지 않고 오븐 벽에 흡수된다는 점입니다.
우리는 금으로 코팅된 반사판을 사용하여 이 문제를 해결했습니다.
아마도 여러분도 이전에 일반적인 알루미늄 반사판을 사용해본 적이 있을 것입니다. 그것들도 괜찮긴 하지만, 에너지를 너무 많이 흡수합니다. 반면 금은 적외선 스펙트럼의 상당 부분을 다시 웨이퍼 쪽으로 반사시켜줍니다.
왜 금일까요?
적외선 램프가 어떻게 작동하는지 생각해보세요. 램프는 에너지를 모든 방향으로 방출합니다. 적절한 반사판이 없으면, 에너지의 절반이 낭비됩니다.
하우징에 얇은 금층을 추가함으로써 에너지가 누출되는 것을 막을 수 있습니다. 그 결과, 열이 웨이퍼 전체에 고르게 분포됩니다. 따라서 목표 온도에 더 빠르게 도달할 수 있으며, 열도 일정하게 유지됩니다. 이제는 가장자리가 중앙만큼 뜨거운지 걱정할 필요가 없습니다.
단점과 그 해결법
물론 한계도 있습니다. 너무 많은 에너지를 좁은 공간에 집중시키면 온도가 매우 높아집니다. 램프 자체의 온도도 급격히 상승합니다. 적절한 냉각 시스템이 없다면, 석영관이 너무 빨리 손상될 수 있습니다. 따라서 금 코팅의 효율성을 유지하면서도, 필라멘트가 손상되지 않도록 충분한 공기 흐름을 확보해야 합니다.
클린룸에 설치하는 방법
가장 좋은 점은, 이러한 장비들이 그대로 교체할 수 있다는 것입니다. 전체 설비를 분해할 필요가 없습니다.
금 코팅된 시스템은 와트당 더 높은 효율을 보여주므로, 오븐의 전체 전력 소비를 줄일 수 있습니다. 그 결과, 실내 온도도 훨씬 낮아집니다.
한 가지 팁: 배선을 반드시 확인하세요. 램프의 전력에 맞는 배선인지 확인해야 합니다. 만약 전압 강하가 있다면, 가열이 고르지 않아져서 원하는 효과를 얻을 수 없습니다.