LPCVD 퍼니스 가열 요소

라인에서 LPCVD 퍼니스는 압력 용기처럼 작동하며 안정적인 온도, 엄격한 균일성, 그리고 입자 편차가 전혀 허용되지 않는다. 폴리실리콘 또는 나이트라이드 증착 중 단 한 번의 온도 편차도 로트 전체의 두께 불균일로 나타날 수 있다. 인접한 베이크 모듈에서 핫스팟은...