B2B 硅片制造供应

在300mm生产线中，软烘烤期间的0.5°C漂移并不是一个脚注。这是一个产量泄漏。光刻胶轮廓变得更加紧凑，CD预算缩减，炉床上没有留给猜测的空间。我们为这种现实构建了热系统：保持温度在工艺所需的位置——在整个晶圆上，在整个换班期间。 引擎盖下的重要性 我们的加热器在晶圆级热均匀性方面保持在...