铝反射器用于红外灯

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤不是可选的热处理步骤——它是达到线宽规格和报废整批晶圆之间的关键分界线。如果红外灯出现漂移，软烘烤和硬烘烤的过程也会随之偏离。溶剂无法彻底挥发，曝光容差大幅降低。铝反射器就是在这里发挥作用：它将原始辐射能转换成稳定且可重复的晶圆热场。 底层关键因素 我们对反射器进行中波红外...