半導体ウェーハプローブヒーター

ファブの現場では、ウェーハをプローブする際にわずか0.5度のずれが生じるだけで、気づく前に良品が不良品に変わってしまうことがあります。熱管理が厳しく、スケジュール上もミスが許されない状況では、推測に頼ることはできません。 内部で何が重要か 私たちが開発した半導体ウェーハ用プローブヒーターは、短波長...