空気を加熱するのをやめよう：セミトロリーを温めるためのより良い方法 半導体製造工場でカーボンニュートラルな目標を達成しようと思うなら、エネルギーの無駄遣いをやめなければなりません。その最大の原因は、従来の対流式ヒーターです。これらのヒーターは、数個の部品を安定させるために、クリーンルーム全体を温め...

ヒーターの熱漏れを防ぐ方法 半導体製造装置で高い出力を使うと、その熱は意図した場所に留まらず、あちこちに散らばってしまいます。もし通常のヒーターを使用している場合、装置の内壁はまるでスポンジのように機能し、そのエネルギーをすべて吸収してしまいます。その結果、「熱い壁」ができてしまいます。これはエネ...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もし、クラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、その苦労はご存知でしょう。たった一つのほこりの粒子が適切でない場所にあるだけで、作業中のウェハー全体が無駄になってしまいます。本当にストレスです。 問題は、ほとんどの加熱要素が実...

なぜ金メッキされた赤外線ランプが半製品の製造にとって重要なのか 半導体製造において、正確な温度管理を行うのは非常に難しい。わずかな誤差でも問題が発生します。そのため、私たちは金メッキされた短波長赤外線ランプを使用しています。これらは単なるヒーターではなく、大量のエネルギーを狭い空間に集中させ、無駄...

ガラスの破片が散乱するのを防ぐ：クォーツチューブを無事に保つ方法 高負荷の半導体製造装置において、赤外線ランプが爆発してしまうのは大変な問題です。装置が停止するだけでなく、部品もめちゃくちゃになってしまいます。ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハの上に降り注ぐ姿を想像してみてください。一度爆発すれ...

ファブの現場では、ウェーハをプローブする際にわずか0.5度のずれが生じるだけで、気づく前に良品が不良品に変わってしまうことがあります。熱管理が厳しく、スケジュール上もミスが許されない状況では、推測に頼ることはできません。 内部で何が重要か 私たちが開発した半導体ウェーハ用プローブヒーターは、短波長...

製造現場では、フォトレジストを加熱する際に1℃の温度変動があるだけで、重要な寸法が変わってしまい、多くのウェーハが廃棄処分されてしまいます。私たちは、このような不確実性を完全に排除するために、半導体用の赤外線ヒーターを開発しました。 内部的に重要なポイント 石英製のケースを使用した短波長赤外線を利...

ファブフロアにおいて、アンダーフィルの空洞やスループットの遅延は理論上の話ではなく、失われたダイと達成できなかった目標として現れる。従来のキュアプロファイルは、熱遅延、温度勾配、再現性を損なう汚染リスクなど、あらゆる段階で障害となる。熱予算内に収まりながらも、ライン速度に追従できるキュアが必要であ...

製造現場では、歩留まりは信頼できる温度管理にかかっている。フォトレジストのベーク温度がずれるとCDの均一性が乱れる。ウェハ乾燥時にホットスポットが発生すれば、マイクロ欠陥の原因となる。パッケージングの硬化不足は、剥離を引き起こす。勘頼みでは通用しない。 技術的に重要な点 当社は、ウェハレベルの均一...