耐久性フォトレジスト焼き付けヒーター

ウェハフロアでのベイクは単なる一時停止ではなく、プロセスロックである。フォトレジストの温度均一性がずれると、CD変動や歩留まりの問題を招く。ベイクヒーターの性能が低下し始めた場合、ウェハに現れる前にデータでそれが確認できる。 重要なポイント このフォトレジストベイクヒーターは、リソグラフィーベイク...