超伝導チップ製造用ランプ

製造現場では、95℃でのフォトレジストのソフトベイク時にも、温度が1.5℃も変動してしまうことがあります。その結果、次のリソグラフィ工程における線幅の制御が乱れてしまいます。超伝導チップの製造においては、このような温度変動は単なる歩留まりの低下にとどまらず、工程全体の失敗につながります。 技術的に...