别再浪费热量了：黄金反射器的真正优势 在芯片制造过程中，我们其实并不需要更多的热量。我们希望的是，从光源发出的每一瓦特能量都能精准地照射到芯片上。 通常情况下，这并不容易实现。为此，我们使用镀金反射器来避免能量白白散失，从而让能量以聚焦的形式照射到芯片上。 为什么选择黄金？ 想象一下普通的石英灯...

在300mm生产线中，软烘烤期间的0.5°C漂移并不是一个脚注。这是一个产量泄漏。光刻胶轮廓变得更加紧凑，CD预算缩减，炉床上没有留给猜测的空间。我们为这种现实构建了热系统：保持温度在工艺所需的位置——在整个晶圆上，在整个换班期间。 引擎盖下的重要性 我们的加热器在晶圆级热均匀性方面保持在...