光刻胶软烤灯

在晶圆厂车间，软烘不是预热。它决定了光刻的工艺预算，绝对如此。温度不均匀会表现为CD（临界尺寸）变化，残留溶剂则体现在踏脚、污渍或线边缘粗糙度上。烘烤参数漂移，就有可能影响整个工艺。 技术上关键点如下。我们的光刻胶软烘灯在晶圆上保持±0.1°C的稳态温度均匀性。所用材料符合Class 1–100洁...