MEMSウェーハの乾燥を正しく行うために（汚染の心配なしで） MEMSセンサーを乾燥させる際、熱はあくまで半分の要素に過ぎません。本当の課題は、微粒子との戦いです。 もしクラス100のクリーンルームで作業しているなら、ご存知の通り、わずかなガスの放出やヒーターから出る微小な粒子でも、ウェーハ全体が...

ウェハーを加熱する際に熱が無駄に消費されるのを防ぎましょう。 シリコンウェハーを加熱するには精度が重要です。しかし、一般的なIR装置を使ったことがある人なら、その問題をよく知っているでしょう。つまり、熱がウェハーに当たらず、真空チャンバーの内壁に直接当たってしまうのです。そうなると、機械の外側がと...

なぜ無鉛半導体の製造に赤外線を採用するのか 半導体業界もようやく環境に配慮した製造方法へと移行しています。有害な化学物質を使う乾燥工程や、鉛を含む工程は徐々に廃れつつあります。そこで役立つのが赤外線による硬化処理です。これは「グリーン化」を目指す人々にとって最適な方法です。なぜなら、揮発性溶剤を使...

ウェハー硬化処理ラインでの問題を防ぐ方法 高負荷のウェハー硬化処理においては、ランプが故障すると、単に数分間の生産時間が失われるだけでは済みません。もし石英管が破裂してしまうと、ガラスの破片やハロゲン物質がウェハー上に降り注ぎます。これは本当に悪夢のような状況です。一度破裂すれば、そのロット全体が...

序論 ウェーハを処理する際、温度というのは単なる画面上の数値に過ぎません。それは、完璧な製造ができるか、それとも全量が廃棄されるかの分かれ目なのです。だからこそ、私たちはこの温度センサーを開発しました。その目的は、エネルギーの1ワットたりとも、必要な場所で、必要なタイミングに正確に届けることです。...

はじめに 私たちは、半導体工場で最も過酷な環境に耐えられるウェーハヒーターを開発しました。この装置の核心となるのは、高出力のハロゲンランプです。高速かつ正確で、非常に強力な性能を持っています。しかし、私たちが最も誇りに思うのは、電気的な安全性が後回しにされていないことです。それは最初から考慮されて...

はじめに ここでは、鋳造所といった過酷な環境で使用される、特殊な赤外線ヒーティングランプについて説明しましょう。このランプは、ウェーハ乾燥装置内の加熱システムを簡単に交換できるように設計されています。その目的は、強力かつ安定した熱を供給し、水分を素早く除去することです。そして、エネルギーコストや頻...

ファブの現場では、ウェーハをプローブする際にわずか0.5度のずれが生じるだけで、気づく前に良品が不良品に変わってしまうことがあります。熱管理が厳しく、スケジュール上もミスが許されない状況では、推測に頼ることはできません。 内部で何が重要か 私たちが開発した半導体ウェーハ用プローブヒーターは、短波長...

ファブの現場では、5nmプロセスでは、わずかな誤差も許されません。ウェーハ上の0.3℃の温度差だけで、CD値が変わってしまい、エッチング後にフォトレジストの残留物が残ってしまいます。また、従来の乾燥方法では、端部分が依然として湿った状態になります。回転式の乾燥方法では溶剤が無駄に使われ、粒子の発生...

製造現場での基本事項 製造現場では周知の通り、ソフトベイクやハードベイク工程中のわずか0.5℃の温度変動が、重要寸法のずれや歩留まり低下を招きます。2026年型ウェーハヒーターは、実際に運用しているプロセスウィンドウに合わせて設計されており、厳密な熱制御、クリーンな動作、そしてシフトごとの再現性を...